概述

Edwards 有源倒磁控管真空計 (AIM) 在一個緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學儀器到工業(yè)制程的多種應用場合，均已證明這些真空計堅固可靠。
 
此真空計具有線性輸出，易于與計算機或 PLC 結(jié)合使用。

應用

·                適用于處于 1 x 10^-2 to 1 x 10^-9 mbar 范圍內(nèi)的所有需要可靠穩(wěn)定的壓力指示的真空應用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機和熔爐再到科學儀器和半導體等各種應用。

功能和優(yōu)勢

·                驅(qū)動電子模塊與規(guī)頭合并在一起，降低了系統(tǒng)成本并節(jié)省了寶貴的機架空間

·                低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供高級別的抗擾性，并允許使用長電纜（最長可達 100 m）

·                低磁場型 XL 適用于敏感性應用，例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡。

·                可更換的管體允許快速更換管件而無需預校準

·                已獲 CSA C/US 批準

·                范圍廣泛、符合標準的內(nèi)部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標準直流電，對電壓波動有很好的承受力

·                0 到 +10 V 直流電壓的標準模擬輸出和真空計標識符允許輕松連接計算機或 PLC 和進行故障輸出指示

·                電極維修套件允許用戶進行清潔和維護

·                獨特的放電器設(shè)計確保即使在高真空或污染環(huán)境下也可以快速放電

·                壓力范圍更大

技術(shù)數(shù)據(jù)

壓力范圍

  AIM-X

10^-2 至 10^-9 mbar

準確度*

通常為 ±30%

最大過壓

10 bar 絕對 (145 psi)

  電源供給

+13.5 至 +36 V 直流（最大 1 V 波動）

  功耗

2 W（最大）

  輸出信號

2 至 10 V 直流

設(shè)定點

開路集電極晶體管

  最大電壓

40 V 直流

  電流