表面超硬化處理是指化學(xué)氣相沉積(CVD)，物理氣相沉積(PVD)，物理化學(xué)氣相沉積(PVD)，TD覆層處理。這幾種表面處理的共同特點(diǎn)是都可以在工件表面形成HV2000以上的硬化層，并具有極高的耐磨抗咬合等性能。實(shí)踐證明，化學(xué)氣相沉積(CVD)，TD覆層處理技術(shù)是目前解決工件拉傷問題效果的方法，而物理氣相沉積(PVD)，物理化學(xué)氣相沉積(PCVD)，雖然其表面硬度也可達(dá)到HV2000—3000，甚至更高，表面層硬化層也具有極高的耐磨，抗拉傷性能，但由于其膜基結(jié)合力較CVD和TD覆層處理差距較大，往往在使用過程中過早脫落，發(fā)揮不出表面超硬化層的性能特點(diǎn)，因此這兩種方法除在載荷較小的情況下有可能具有效果外，一般的成型類模具很難有滿意的效果。