廈門無塵凈化車間設(shè)計(jì) 無塵車間選擇景承凈化科技! 無塵車間管理制度 1.0 無塵車間管理的目的 半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程對車間有明確的潔凈要求,為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn),必須對潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過程等進(jìn)行控制。 2.0 無塵車間管理的原則 2.1 進(jìn)入潔凈室的管理,包括對潔凈室工作人員進(jìn)入、物料進(jìn)入、各類設(shè)備的搬 入以及相關(guān)的設(shè)備、管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。 2.2 操作管理技術(shù),對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗;操作人 員的移動和動作;室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等,盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。 2.3 嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備、設(shè) 施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具(工裝夾具)等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。 2.4 清掃、滅菌管理,對潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周 期和檢查作明確的規(guī)定,防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。 2.5 潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括:空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或 氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。 3.0 適用范圍 半導(dǎo)體公司所有潔凈生產(chǎn)區(qū)及潔凈輔助間(包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關(guān)生活用室等)、車間內(nèi)管理區(qū)(包括部分辦公、值班、管理和體息室等)和將來新建、改建、擴(kuò)建的潔凈廠房及其輔助用房。
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