常用的機(jī)械泵有定片式、旋片式、滑閥式，而最普遍采用的為旋片式真空泵（簡(jiǎn) 稱旋片泵），它是一種油封式機(jī)械真空泵。旋片式機(jī)械泵既可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)預(yù)抽泵。它可以用來抽除真空密封容器中的 干燥氣體，在裝有氣鎮(zhèn)閥的情況下，也可以抽除一定數(shù)量的可凝性氣體。但不適用于抽除對(duì)金屬具有腐蝕性的含氧高的、含有顆粒塵埃的以及對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣 體。旋片式機(jī)械泵是真空技術(shù)中獲得最基本真空的設(shè)備之一。

旋片式機(jī)械泵大多為中小型泵，它有單級(jí)泵和雙級(jí)泵兩種。雙級(jí)泵就是從結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。單級(jí)和雙級(jí)泵的區(qū)別在于雙級(jí)泵可以獲得較高的真空度。

在雙級(jí)泵中，當(dāng)?shù)驼婵占?jí)和高真空級(jí)存在不等腔時(shí)，就需要設(shè)罝輔助排氣閥。設(shè)置輔助排氣閥的目的是在入口壓力較高時(shí)，經(jīng)高真空級(jí)壓縮的氣體達(dá)到排氣壓力 時(shí)，輔助排氣閥開始工作，部分氣體由此排出，剩余氣體由低真空級(jí)抽走。機(jī)械泵當(dāng)入口壓力降低時(shí)，輔助排氣閥的排氣量會(huì)隨之減少，最終達(dá)到關(guān)閉。在整個(gè)抽氣 過程中，當(dāng)可凝性氣體的分壓超過泵溫及達(dá)到飽和蒸氣壓時(shí)，可凝性氣體就會(huì)產(chǎn)生凝結(jié)并能混合于泵油中，隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)及泵油循環(huán)，在返回高真空端時(shí)會(huì)重新蒸發(fā) 變成蒸氣。將會(huì)影響泵的抽氣性能，加重了泵油污染。設(shè)置氣鎮(zhèn)閥可有效地防止可凝性氣體的凝結(jié)，即泵在壓縮過程中，氣鎮(zhèn)閥通過氣鎮(zhèn)孔將永久性干燥氣體摻入被 壓縮的氣體中，在可凝性氣體分壓達(dá)到泵溫時(shí)的飽和蒸氣壓之前，壓縮氣體壓力就能達(dá)到排氣壓力，將排氣閥打開，把可凝性及干燥氣體同時(shí)排出。在通常情況下油 封式機(jī)械泵都設(shè)置氣鎮(zhèn)閥，它的使用可參閱油封式機(jī)械真空泵技術(shù)說明書。這種泵的缺點(diǎn)是容易返油及噴油，為了克服這些缺點(diǎn)，生產(chǎn)廠家同時(shí)配有分子篩、油霧收 集器、塵埃過濾和油過濾器等配件。

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