江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司-中山MOCVD加熱器廠家配套設(shè)備批發(fā)1234a3211
是國(guó)內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實(shí)為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊(cè)資金2000萬(wàn),總部在邳州,并在蘇州設(shè)有辦事處。我國(guó)的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長(zhǎng)足發(fā)展,但所使用的設(shè)備還主要來(lái)自國(guó)外,如MOCVD主要從美國(guó)和德國(guó)進(jìn)口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通過(guò)量產(chǎn)驗(yàn)證,在短時(shí)間內(nèi)設(shè)備即可到較理想的工藝水平1234a3211
2、產(chǎn)品經(jīng)過(guò)多道化學(xué)清洗,并使用超聲波處理,氮?dú)饧訜岷娓珊笤诘獨(dú)夤裰斜4?234a3211
3、隔熱板材料使用高純鉬,不含任何PBN,較之前壽命提升30%-50%,維護(hù)保養(yǎng)更加方便1234a3211
4、線圈加熱重新設(shè)計(jì),B區(qū)在原來(lái)的基礎(chǔ)上加大,使加熱器溫度分布更大更均勻,效率更高1234a3211
5、支撐及固定點(diǎn)重新設(shè)計(jì),整個(gè)加熱器不易變形,更加持久耐用1234a3211
6、維護(hù)更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量產(chǎn)MOCVD之關(guān)鍵組件如加熱器、整流罩、過(guò)濾器等產(chǎn)品,并正在開(kāi)發(fā)和推廣刻蝕用托盤(pán)和靜電吸盤(pán)、離子注入機(jī)的離子源等產(chǎn)品。我司的目標(biāo)是成為中國(guó)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備備件和耗材供應(yīng)商,不但為客戶提供全面而可靠的產(chǎn)品,還要通過(guò)客制化服務(wù),為客戶提供更為優(yōu)化的核心部件以提升機(jī)器的整體性能,為客戶提供高附加值的服務(wù),實(shí)現(xiàn)雙贏的局面。-中山MOCVD加熱器廠家配套設(shè)備批發(fā)1234a3211因?yàn)镸OCVD生長(zhǎng)使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì),并且要生長(zhǎng)多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料。因此在MOCVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思想上,通常要考慮系統(tǒng)密封性,流量、溫度控制要好,組分變換要迅速,系統(tǒng)要緊湊等。不同廠家和研究者所產(chǎn)生或組裝的MOCVD設(shè)備是不同的。1234a3211
3、晶體生長(zhǎng)是以熱解化學(xué)反應(yīng)的方式進(jìn)行的,是單溫區(qū)外延生長(zhǎng)。只要控制好反應(yīng)源氣流和溫度分布的均勻性,就可以保證外延材料的均勻性。因此,適于多片和大片的外延生長(zhǎng),便于工業(yè)化大批量生產(chǎn)。1234a3211
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