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JK3S型閉環(huán)技術(shù)可控硅調(diào)壓器多晶硅還原爐電氣系統(tǒng)研制及其實際應(yīng)用


  一．綜述多晶硅還原爐電氣系統(tǒng)的主要設(shè)備是大功率調(diào)壓器。調(diào)壓器所帶負載是多晶硅棒串聯(lián)而成的純電阻負載。調(diào)壓器的作用實際上是對負載電阻進行電加熱，并且保持硅棒表面溫度恒定（一般1080℃）。硅棒串聯(lián)而成
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一．綜述


多晶硅還原爐電氣系統(tǒng)的主要設(shè)備是大功率調(diào)壓器。調(diào)壓器所帶負載是多晶硅棒串聯(lián)而成的純電阻負載。調(diào)壓器的作用實際上是對負載電阻進行電加熱，并且保持硅棒表面溫度恒定（一般1080℃）。硅棒串聯(lián)而成的電阻是一個變化的電阻：第一，硅棒溫度從常溫上升到1000℃，Φ8直徑硅芯電阻從幾百kΩ下降到幾十Ω；第二，保持硅棒表面溫度1080℃，硅棒直徑從Φ8增加到Φ150，硅棒電阻從幾十Ω下降到幾十mΩ。可見硅棒電阻大范圍變動引起調(diào)壓器輸出電壓和電流的調(diào)節(jié)范圍大是這種調(diào)壓器的設(shè)計特點。按照實際工作的性質(zhì)，調(diào)壓器分為硅棒溫度從常溫加熱到1000℃的預(yù)熱調(diào)壓器和硅棒直徑從Φ8增加到最終直徑并且始終保持硅棒表面溫度1080℃的還原調(diào)壓器。


預(yù)熱調(diào)壓器工作過程中硅棒溫度從常溫加熱到1000℃，其主要困難是硅棒初始電阻R太大，加熱功率正比于V2/R，電阻大必然要求供電電壓高（甚至需十幾kV），一般應(yīng)盡可能降低電阻R。常用方法有提高爐壁冷卻液的溫度，加粗硅芯直徑，對硅芯參雜，爐內(nèi)注入高溫等離子體或放置鹵鎢燈等等。預(yù)熱調(diào)壓器工作時間十幾分鐘，功率30－200kVA。


還原調(diào)壓器輸出功率用于加熱硅棒，硅棒再通過輻射、傳導(dǎo)和對流方式將功率傳遞給還原爐內(nèi)的反應(yīng)氣體和爐壁的冷卻液。隨硅棒直徑增長，反應(yīng)氣體流量加大，爐內(nèi)的反應(yīng)氣體和爐壁的冷卻液帶走的熱量增加，調(diào)壓器輸出功率越來越大。工藝對還原爐提出的技術(shù)要求如圖一所示。還原調(diào)壓器設(shè)計必須滿足工藝上隨直徑Φ變化，電壓V、電流I和功率P的供電要求。同時，重點考慮高電壓的電氣結(jié)構(gòu)問題、大電流的電氣結(jié)構(gòu)問題、負載電阻變化引起的調(diào)節(jié)器參數(shù)設(shè)計問題、調(diào)壓范圍大引起的功率因數(shù)低和諧波問題、結(jié)構(gòu)上的環(huán)流問題、硅棒碰壁、裂棒檢測及斷電再上電等輔助功能問題。

多晶硅還原爐電氣系統(tǒng)除了可控硅調(diào)壓器以外還有一套計算機管理、操作系統(tǒng)。它的主要功能是：

1． 對管轄的所有還原爐電氣設(shè)備（調(diào)壓器、變壓器、開關(guān)柜）進行數(shù)字通信。

2． 對管轄的所有還原爐電氣設(shè)備的電氣數(shù)據(jù)進行畫面顯示和曲線記錄，并且對所有還原爐電氣設(shè)備的故障進行畫面提示和記錄。

3． 對管轄的所有還原爐電氣設(shè)備進行畫面操作。

該系統(tǒng)采用雙冗余計算機和光纖通信，可靠性高、抗干擾能力強。


目前，國際上對中國實行還原爐電氣系統(tǒng)的技術(shù)封鎖，同類進口產(chǎn)品只是國際九十年代初的水平。要想設(shè)計出適應(yīng)我國還原爐內(nèi)硅棒不斷增多、直徑不斷長粗、氣體壓力不斷增高的還原爐電氣系統(tǒng)，仍然需要依靠中國電氣同行的共同努力。氣體壓力不斷增高的還原爐電氣系統(tǒng)，仍然需要依靠中國電氣同行的共同努力。

二． 預(yù)熱調(diào)壓器的設(shè)計


目前比較流行的預(yù)熱方式是直接采用高壓調(diào)壓電源進行預(yù)熱，而不是用高溫等離子體或放置鹵鎢燈等方式。因為在掌握了電極絕緣技術(shù)的情況下，高壓調(diào)壓電源進行預(yù)熱，工藝優(yōu)勢比較大。