美國MKS INSTRUMENTS目前產品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備；質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源；STEXI系列產品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器；另外美國萬機儀器MKS NSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術等系列解決方案。


主要產品：MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關,MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發(fā)生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,MKS壓力控制閥

相關系列與型號介紹：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,
148J,154A/B,179A,180A,185A,248A/D,641A/B,649A/B,748A,1150C,1152C,1179A/B,1479A,1480A,
1485A,1559A,1640A,2179A,DPCA,FRCA,GE,GM,M10MB,M100B,M200,M330,M330AH-XXX-CE,MC20,P4B,P5A,P6A,P8A,P9B,PCA,P99A,P250A,VODMC,VPR3A,41/42A/B,51/52A/B,120A,120D,121A,
141A,142A,146C,220D,221B,228A,230E,226A,430E,590A,615A,616A,622A/B,623A/B,624A/B/D,
625A/B/D,626A/B,627A/B/C/D/E,628A/B/C/D/E,629A/B/D,631B/C/D,660B,670B,690A,698A,722A/B,
727A,728A,740B/C,742B/C,750B/C,752B/C,840B,842B,850B,852B,870B,872B,890B,891B,892B,893B,
CV76XX,D24B/D,D25B/D,D27B/D,D28B/D,DMA/B,E27B/C/D/E,E28B/C/D/E,E29B/D,IDA76XX,LDM-A/D,PDR2000,PR4000,R740B/C,R742B/C,R750B/C,R752B/C R840B,R842B,R850B,R852B……

壓力測量及控制
薄膜電容式高精度壓力傳感器（溫度控制在45℃）

690A系列
690A.1TRC 690A.1TRCB 690A.1TRCA 690A01TRC 690A01TRB 690A01TRA 690A11TRC 690A11TRB 690A11TRA 690A12TRC 690A12TRB 690A12TRA 690A13TRC 690A13TRB 690A13TRA 690A53TRC 690A53TRB 690A53TRA 690A14TRC 690A14TRB 690A14TRA 690ARBTRC 690ARBTRB 690ARBTRA 690A24TRC 690A24TRB 690A24TRA 690ARCTRC 690ARCTRB 690ARCTRA

590A系列
590A.1TRC 590A.1TRCB 590A.1TRCA 590A 01TRC 590A 01TRB 590A 01TRA 590A 11TRC 590A11TRB 590A11TRA 590A12TRC 590A12TRB 590A12TRA 590A13TRC 590A13TRB 590A13TRA 590A53TRC 590A53TRB 590A53TRA 590A14TRC 590A14TRB 590A14TRA 590ARBTRC 590ARBTRB 590ARBTRA 590A24TRC 590A24TRB 590A24TRA 590ARCTRC 590ARCTRB 590ARCTRA

698A系列
698A.1TRC 698A.1TRCB 698A.1TRCA 698A.1TRCE 698A.1TRCD 698A 01TRC 698A 01TRB 698A 01TRA 698A 01TRE 698A 01TRD 698A 11TRC 698A11TRB 698A11TRA 698A11TRE 698A11TRD 698A12TRC 698A12TRB 6