微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器工藝流程及控制方法

1.采用進(jìn)口質(zhì)量流量控制器控制器氣體的體積流量進(jìn)行二元或三元?dú)怏w的混合配

比，在設(shè)備高精度工作的同時(shí)，保證設(shè)備運(yùn)行的可靠性和配比穩(wěn)定性。（三元?dú)怏w    以相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)氣體做同比例標(biāo)定，實(shí)測(cè)氣體顯示數(shù)據(jù)做依據(jù)做比對(duì)數(shù)據(jù)檢測(cè)或聯(lián)機(jī)色譜儀在線監(jiān)測(cè)微調(diào)質(zhì)量流量計(jì)設(shè)備參數(shù)，使其最終混配比例在0.1%以?xún)?nèi)，具體數(shù)據(jù)以色譜儀或氣體分析儀的分辨率為基準(zhǔn)）

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器控制方式

                  采用知名品牌PLC與觸摸屏控制，實(shí)時(shí)顯示配比流程、配比比例、工作壓力、報(bào)

                  警參數(shù)等信息，使操作變的簡(jiǎn)易明了。控制采用PLC與質(zhì)量流量控制器做通訊控 

                  制，保證了配比的精度，同時(shí)設(shè)備設(shè)手動(dòng)操作顯示儀，可手動(dòng)調(diào)節(jié)配比的比例。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器氫氮混合氣檢漏技術(shù)是一種低成本、高效率、高精度的檢漏方式。氫氮混合氣檢漏原理：
金屬氫化物薄膜僅僅對(duì)氫原子具有滲透性。當(dāng)加熱金屬表面時(shí)，氫分子分離成原子被薄膜吸附，吸附的氫原子產(chǎn)生了一個(gè)小的電壓，經(jīng)放大器放大并被輸送到指示器。5%的氫氣+95%氮?dú)獾幕旌蜌馐且环N安全的不可燃?xì)怏w，這是一種煉鋼用的標(biāo)準(zhǔn)還原保護(hù)氣，所以很容易買(mǎi)到混和好的氣體，無(wú)需自己混氣。與氦氣檢漏相比，氫氮混合氣檢漏技術(shù)的最大優(yōu)勢(shì)是氣體成本低廉，僅為氦氣的1/10-1/20左右！隨著現(xiàn)在氦氣供應(yīng)越來(lái)越緊缺，價(jià)格越來(lái)越高，氫氮混合氣低成本的優(yōu)勢(shì)將更為突出。另外，氫檢漏儀本身設(shè)備成本低于氦檢漏儀，且內(nèi)部沒(méi)有真空泵、質(zhì)譜室、燈絲等部件，無(wú)需每年維護(hù)。綜合成本遠(yuǎn)低于氦氣檢漏。氫氮混合氣檢可以快速檢出低至5*10-7mbarl/s的漏率，是目前檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。這種技術(shù)在國(guó)外已得到了廣泛的應(yīng)用。在國(guó)內(nèi)的空調(diào)行業(yè)，越來(lái)越多的廠商開(kāi)始使用氫氮混和氣檢漏來(lái)替代原有的吸槍式氦檢。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氮?dú)饧兓O(shè)備封裝線氮?dú)浠旌蠚怏w配比器檢漏應(yīng)用：
1.  飛機(jī)油箱檢漏；
2.  空中客車(chē)燃油系統(tǒng)；
3.  歐洲先進(jìn)戰(zhàn)斗機(jī)燃油系統(tǒng)；
4.  歐洲直升機(jī)燃油系統(tǒng)；
5.  F-16戰(zhàn)斗機(jī)燃油系繞；
6.  歐洲狂風(fēng)戰(zhàn)斗機(jī)油箱系統(tǒng)；
7.  波音飛機(jī)供氧系統(tǒng)；
8.  瑞典鷹師戰(zhàn)斗機(jī)燃油系統(tǒng)；
9.  法國(guó)空軍燃油系統(tǒng)；
10.  美國(guó)空軍燃油系統(tǒng)；
11.  美國(guó)航天火箭；
12.  歐洲航天火箭。

氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱(chēng)為第三代激光。