GB/T 14599-2008 純氧、高純氧和超純氧檢測

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項目名稱 超純氨
氨（NH3）純度（體積分數(shù)）/10-2 ≥ 99.99999
氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.01
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.01
氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.01
一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.01
二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.01
烴（C1～C3）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.01
水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ 0.05
總雜質(zhì)含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤ 0.1

滿足標準：
GB/T 8979-2008《純氮，高純氮，超純氮》
GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 14604-2009 《電子工業(yè)用氣體 氧》
GB/T 4844-2011《純氦、高純氦和超純氦》
GB/T 3634.2-2011《純氫、高純氫、超純氫》
GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14601-2009《電子級工業(yè)氣體氨》
Q/320507 LAS03-2011《7N超純氨》
HG/ 3633-1999《純甲烷》
GB/T 8984-2008《氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定 氣相色譜法》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體氨》
GB/T 23938-2009《高純二氧化碳》
電子級工業(yè)氣體氨（GB/T 14601-2009）
7N超純氨（Q/320507 LAS03-2011)

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