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供應液體粒子計數(shù)器的特點詳細信息

微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品，該粒子計數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。PMSChem20化學式粒子計數(shù)器具有20nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度最高的高純度工藝化學品粒子傳感器。

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