PECVD裝片房
PECVD裝片房用途規(guī)格：

?   能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車(chē)定位

?   能夠使用石墨舟承載車(chē)在里面傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度

?    配置經(jīng)中效、高效過(guò)濾器過(guò)濾后的凈化空氣根據(jù)要求定時(shí)向機(jī)內(nèi)循環(huán)吹風(fēng)

PECVD裝片房技術(shù)要求：

?    整個(gè)冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個(gè)設(shè)備堅(jiān)固可靠

?    節(jié)電效果，小車(chē)進(jìn)入后自動(dòng)啟動(dòng)吹風(fēng)，冷卻到規(guī)定時(shí)間或小車(chē)離開(kāi)自動(dòng)停止吹風(fēng)

?    為防止被小車(chē)撞擊后移動(dòng)，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_