美國(guó)Brooks流量計(jì) 5850E / 5860E
智能型熱式橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器
量程 10sccm-100slpm
操作溫度 5°- 65°
最大壓力 1500 psi
精度 精度 ±1 F.S 精度 ±1.5 F.S
輸入輸出 0-5VDC
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