美國Brooks5850E氣體質(zhì)量流量計
質(zhì)量流量計:
主要品牌美國Brooks(布魯克斯)
美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同,BROOKS質(zhì)量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量,不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計成質(zhì)量或體積單位。此外,所有BROOKS  INSTRUMENT質(zhì)量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容,安裝簡便。
常用型號有:5850E  /  SLA5850S  /  5851E/SLA5851S/5853S/SLA5853S、5964系列、0254控制單元
基本型號:5850E/SLA5850S
技術(shù)參數(shù):數(shù)字信號/模擬信號輸出,可遠距離通過電腦直接顯示控制,可配顯示單元
介質(zhì):可選02、H2、N2、等非腐蝕性氣體或S02、HCL等腐蝕性氣體
最大工作壓力:1500PSI(10.432Mpa)
進氣口壓差:一般≤0.5MPA
精度:±1%
電氣接口:15Pins  D-Type
信號輸出:RS485
氣路接口:1/4VCR或1/4SWG
流量范圍:0-30SLPM
最高使用溫度:65°C
控制信號:0-5V/4-20MA
電源:±15V/15-24V
密封材質(zhì):Viton/Kalrez
主要應(yīng)用領(lǐng)域為太陽能光伏、半導(dǎo)體、石油化工、LED、集成電路、玻璃光纖制造、各大科研院校等事業(yè)群體
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