真空規(guī)管雖用于真空測(cè)量，但其吸放氣屬性卻會(huì)對(duì)真空測(cè)量產(chǎn)生影響。今天干式螺桿真空泵廠家與大家分享的內(nèi)容就是，真空測(cè)量中真空規(guī)管放氣都以哪些形式呈現(xiàn)。
真空規(guī)管放氣對(duì)真空測(cè)量的影響主要有三種形式：熱解吸、電解吸及光解吸。
熱解吸是通過直接或間接熱交換，解除吸附質(zhì)的吸附狀態(tài)，使其揮發(fā)或分離。在熱陰極電離真空計(jì)規(guī)管中，高溫?zé)彡帢O本身就是一種氣源。它的高溫?zé)崃枯椛涞狡渌姌O和規(guī)管壁時(shí)，會(huì)引起氣體的熱解吸。此外，柵極接收電子、收集極收集離子，也會(huì)因發(fā)熱使氣體解吸。因此為消除這種熱解吸影響，對(duì)真空規(guī)管的電極以及管壁需要進(jìn)行充分的加熱去氣，如烘烤、電子轟擊、高頻加熱、歐姆加熱等。尤其是在超高真空測(cè)量過程中，必須嚴(yán)格去氣，否則將會(huì)產(chǎn)生明顯的測(cè)量誤差。
電解吸。電解吸是指在電離計(jì)規(guī)管收集極上存在氣體吸附層，當(dāng)電子打在其表面時(shí)會(huì)使吸附層的氣體解吸，或先在其表面將氣體電離后再以離子形式解吸出來。電解吸也被叫做電子碰撞解吸效應(yīng)。它是影響電離規(guī)測(cè)量下限的重要因素。
光解吸是指金屬表面受光輻射，其表面上的分子解吸和分解現(xiàn)象。光解吸現(xiàn)象在輻射強(qiáng)烈的環(huán)境中較為嚴(yán)重，在超高真空測(cè)量中也需要注意。
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